半导体制造

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艾默生的半导体制造设备和制造技术可确保半导体制造过程中的高纯度。

借助半导体制造气体输送技术提高制造良率

在关键的半导体制造应用中,最要避免的就是停机。我们了解减少污染的必要性,因而提供可靠过程来优化制造良率。艾默生的半导体制造设备、制造技术和气体输送系统调压器在世界各地的半导体制造厂和代工厂均能够提供优越性能,值得信赖。艾默生全球网络为您的半导体制造过程提供本地化支持。

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专业领域

半导体制造商的制造依赖于强大的大流量特殊材料供气系统 (BSGS),它以大容量和高流速连续供给特殊材料气体,更大限度地改善产量和生产时间。艾默生调压器设计目的就是从始至终帮助完成大容量供气。我们的产品可确保正常运行时间,提供可靠的主要接触点,同时确保在整个应用中进行大容量传输。 

最终用户的生产依赖于连接到制造工具和应用的气体分配点的精确压力控制。艾默生的调压器可以在阀组箱和过程工具间完成出色的压力控制。我们的技术设计帮助创建可靠的最终接触点,确保过程的质量、纯度和可重复性,并减少因介质污染导致的不良产品数,提高良率。

气柜系统依靠精确控制才能安全有效地存储常见危险介质以供半导体制造系统使用。艾默生的 TESCOM 调压器有助于确保天然气分配链中该必需节点的完整性。我们的技术通过改进操作界面和控制,使最终用户简化维护、减少停机时间并管理生产计划的增加。 

艾默生的 TESCOM 气体调压器经过优化,使制造设施的半导体气体传输系统可靠又安全。这些产品易于使用和安装,用途广泛,具有模块化功能,非常适合用来更改或扩展生产目标,它们支持定制解决方案,适配高完整性标准应用。我们深受信赖的全球网络可针对特殊应用挑战提供本地化支持。

半导体制造工艺对生产工具和半导体晶圆上的悬浮分子污染物 (AMC) 控制有依赖,晶圆几何尺寸缩小使之变得更具挑战性。艾默生的电磁阀技术实现灵敏的响应、精确的流量控制以及出色的氮气吹扫站性能与可靠性,有助于缩减维护和停车并提高产量。

半导体制造要依靠系统智能和通信来达到高吞吐量和可靠性标准。涉及处理系统所有方面的精细的 IIoT 功能帮助艾默生精确控制温度、流量、压力和位置。我们的解决方案提供到阀门的一致通信,并在严苛的半导体制造应用中集成 web 服务器。

半导体装配和制造的常见问题

艾默生如何提高半导体制造良率?
为什么要对半导体制造设施实行数字化?
什么是半导体制造?
实时数据如何在半导体制造的预防性维护中发挥作用?
为什么可持续性对半导体制造过程至关重要?
艾默生如何保证芯片的性能和可靠性?
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