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64-3200 系列超高纯度、高流量束缚膜片减压阀提供 0.25 微米/10 Ra 微英寸的表面光洁度,并可提供 Hastelloy® 阀内件。最大流量可达 900SLPM/31.8SCFM,入口压力为 10.3、69.0、103bar/150、1000、1500psig,出口压力可高达 13.8bar/200psig。非常适合用于大宗特种气体系统 (BSGS)、1/2" 使用点、工具连接以及气柜。