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64-3400 系列双级、超高纯度减压型调压器提供束缚阀膜设计,具有 10Ra 微英寸/0.25 微米的表面光洁度以及可选的 Hastelloy® 阀内件。入口压力为 3500psig/241bar,出口压力可达 150psig/10.3bar。非常适合用于气瓶柜、半导体制造和研究实验室。