Na fabricação de semicondutores, os gases comprimidos de alta pureza, como nitrogênio (HP N2), argônio (HP Ar), hélio (HP He) e ar limpo e seco (CDA), desempenham papéis cruciais em vários processos. O nitrogênio é geralmente usado na purga e inertização para evitar oxidação e contaminação. O argônio é essencial na gravação por plasma e na pulverização catódica devido às suas propriedades inertes, garantindo a remoção e deposição precisa de materiais. O hélio, com sua condutividade térmica excepcional, é essencial para sistemas de resfriamento e detecção de vazamentos. O ar puro, livre de contaminantes, é usado em ambientes de sala limpa para cumprir rigorosas normas de qualidade.
A medição da vazão desses gases de alto custo é fundamental para garantir o controle consistente de custos, o controle do processo, a eficiência e a segurança. O monitoramento preciso da vazão permite o fornecimento exato de gás, minimizando o desperdício e garantindo o desempenho ideal nos processos de fabricação.
O medidor de vazão de ar comprimido FLUXUS G721 CA da Flexim é uma tecnologia ultrassônica não intrusiva, exclusiva para medir a taxa de vazão de ar comprimido mesmo em pressões muito baixas (até 3 bar em linhas de aço e pressão atmosférica em linhas de plástico). Além disso, mesmo a taxa de vazão mais baixa é capturada precisamente, revelando da menor vazão até os menores vazamentos onde não deve haver nenhum. O FLUXUS G721 CA é particularmente adequado para medir de forma não intrusiva as quantidades extraídas em pontos específicos da rede de ar comprimido, bem como para detectar vazamentos.
O FLUXUS G601 CA Energy da Flexim é a ferramenta ideal para realizar tarefas completas de eficiência energética no setor, bem como dentro da gestão das instalações (de acordo com a norma DIN ISO 50001), permitindo a medição das taxas de vazão de ar comprimido, bem como o monitoramento de quantidades de energia térmica e a determinação da vazão de qualquer tipo de fluído líquido ou gasoso com apenas um dispositivo portátil. Projetado para inspecionar toda a infraestrutura de ar comprimido, equilibrar as instalações, medir em quase todas as pernas individuais, determinar a eficiência dos compressores e durar, mas não menos importante, quantificar e localizar vazamentos. Ele mede com um diâmetro interno de DN6 até DN2100 pressurizado a partir de 3 bar.
O medidor ultrassônico de vazão de ar comprimido FLUXUS G532 da Flexim foi projetado especialmente para medição de quantidade de ar comprimido e gases técnicos. Um medidor de ar comprimido compacto com cálculo integrado de vazão volumétrica padrão, que também pode processar dados de medição on-line de sensores de temperatura e pressão. O método comprovado de diferença de tempo de trânsito oferece ótimas vantagens, especialmente para ar comprimido e gases técnicos, como: velocidades de vazão tão baixas quanto 0,03 pés/s são detectadas. A medição é sempre bidirecional e não é influenciada por partículas de umidade, óleo ou sujeira. O FLUXUS G532 CA possui uma interface USB e LAN e opera as interfaces de comunicação comuns Modbus TCP, Modbus RTU, BACnet MS/TP, BACnet IP e M-Bus.
O medidor de vazão de ar comprimido FLUXUS G731 CA da Flexim conta com tecnologia clamp-on ultrassônica não intrusiva, exclusiva para medir a taxa de vazão de ar comprimido mesmo em pressões muito baixas (até 3 bar em linhas de aço e pressão atmosférica em linhas de plástico). Além disso, mesmo as taxas de vazão mais baixas são capturadas com precisão, revelando os menores vazamentos. O FLUXUS G731 CA é particularmente adequado para medir de forma não intrusiva as quantidades extraídas em pontos específicos da rede de ar comprimido, bem como para detectar vazamentos.