Mesure du débit d’un gaz comprimé pur
Mesure non intrusive du débit d’air pur, d’azote, d’argon et d’hélium
Surveillance des gaz purs coûteux dans la fabrication de semi-conducteurs
Dans la fabrication des semi-conducteurs, les gaz comprimés très purs tels que l’azote (HP N2), l’argon (HP Ar), l’hélium (HP He) et l’air sec et pur (CDA) jouent un rôle crucial dans divers processus. L’azote est couramment utilisé pour la purge et l’inertage afin d’éviter l’oxydation et la contamination. L’argon est essentiel pour la gravure au plasma et la pulvérisation cathodique en raison de ses propriétés inertes, qui garantissent un enlèvement et un dépôt précis des matériaux. L’hélium, avec sa conductibilité thermique supérieure, est essentiel pour les systèmes de refroidissement et la détection des fuites. L’air pur, exempt de contaminants, est utilisé dans les salles blanches pour maintenir des normes de qualité strictes.
La mesure du débit de ces gaz coûteux est essentielle pour garantir la maîtrise des coûts, le contrôle des procédés, l’efficacité et la sécurité. Le contrôle précis du débit permet une distribution exacte du gaz, ce qui minimise les déchets et garantit des performances optimales dans les procédés de fabrication.
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Solutions pour les produits
Le débitmètre d’air comprimé Flexim FLUXUS G721 CA utilise une technologie à ultrasons à collier non intrusive, qui se distingue par sa capacité à mesurer les débits d’air comprimé, même à des pressions très basses (jusqu’à 3 bar pour les conduites en acier et à la pression atmosphérique pour les conduites en plastique). De plus, même les débits les plus faibles sont capturés avec précision, mettant en lumière les plus petites fuites, là où il ne devrait y en avoir aucune. Le FLUXUS G721 CA est spécialement conçu pour la mesure non intrusive de quantités extraites à des points individuels du réseau d’air comprimé, ainsi que pour la détection des fuites à l’intérieur de celui-ci.
- Mesure non intrusive du débit d’air comprimé et de gaz technique à partir de 3 bar.
- Disponible en tant que débitmètre à double canal avec un boîtier en acier inoxydable homologué ATEX/IECEx et FM.
- Calcul intégré par défaut du débit volumétrique.
Le Flexim FLUXUS G601 CA Energy est un outil polyvalent qui permet aux entreprises industrielles et aux gestionnaires d’installations d’améliorer leur efficacité énergétique et de se conformer aux normes DIN ISO 50001. Le Flexim FLUXUS G601 CA Energy est un appareil portable qui permet la mesure des débits d’air comprimé, la surveillance des quantités d’énergie thermique et la détermination du débit de tout type de fluide liquide ou gazeux. Conçu pour inspecter l’ensemble des infrastructures liées à l’air comprimé, équilibrer les installations, effectuer des mesures sur presque chaque conduite, déterminer l’efficacité des compresseurs, et enfin, mais non des moindres, quantifier et localiser les fuites. Il se mesure avec un diamètre intérieur allant de DN6 jusqu’à DN2100, à partir d’une pression de 3 bars et plus.
- Mesure portative et non intrusive du débit et de l’énergie thermique des liquides, de l’air comprimé et des gaz techniques.
- Bidirectionnel et hautement dynamique pour l’air comprimé.
- Mesure de l’air comprimé et du gaz possible à partir de 3 bar.
Le débitmètre d’air comprimé à ultrasons Flexim FLUXUS G532 est spécialement conçu pour la mesure de la quantité d’air comprimé et de gaz techniques. Un débitmètre d’air comprimé compact doté d’un calcul intégré du débit volumique standard. Il est également capable de traiter les données de mesure en ligne provenant de capteurs de température et de pression. La méthode éprouvée de différence de temps de transit présente de nombreux avantages, notamment pour l’air comprimé et les gaz techniques. Elle permet la détection de vitesses d’écoulement aussi basses que 0,03 pi/s. De plus, la mesure est toujours bidirectionnelle et n’est pas influencée par l’humidité, l’huile ou les particules de saleté. Le FLUXUS G532 CA est équipé d’interfaces USB et LAN, et prend en charge les interfaces de communication courantes tels que Modbus TCP, Modbus RTU, BACnet MS/TP, BACnet IP, et M-Bus.
- Mesure de débit technique d’air comprimé et de gaz non intrusive à partir de 3 bars absolus.
- Calcul intégré du débit volumique standard.
- Dynamiques de mesure extrêmes, des vitesses d’écoulement les plus basses aux plus élevées - détection facile des fuites et des pics de charge.
