Mesure du débit d’un gaz comprimé pur
Mesure non intrusive du débit d’air pur, d’azote, d’argon et d’hélium
Surveillance des gaz purs coûteux dans la fabrication de semi-conducteurs
Dans la fabrication des semi-conducteurs, les gaz comprimés très purs tels que l’azote (HP N2), l’argon (HP Ar), l’hélium (HP He) et l’air sec et pur (CDA) jouent un rôle crucial dans divers processus. L’azote est couramment utilisé pour la purge et l’inertage afin d’éviter l’oxydation et la contamination. L’argon est essentiel pour la gravure au plasma et la pulvérisation cathodique en raison de ses propriétés inertes, qui garantissent un enlèvement et un dépôt précis des matériaux. L’hélium, avec sa conductibilité thermique supérieure, est essentiel pour les systèmes de refroidissement et la détection des fuites. L’air pur, exempt de contaminants, est utilisé dans les salles blanches pour maintenir des normes de qualité strictes.
La mesure du débit de ces gaz coûteux est essentielle pour garantir la maîtrise des coûts, le contrôle des procédés, l’efficacité et la sécurité. Le contrôle précis du débit permet une distribution exacte du gaz, ce qui minimise les déchets et garantit des performances optimales dans les procédés de fabrication.
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Solutions pour les produits
Le débitmètre non intrusif Flexim FLUXUS G721 CA permet la mesure de débit d'air comprimé même à des pressions très basses (à partir de 3 bar absolu pour les conduites en acier et à partir de la pression atmosphérique pour les conduites en plastique). De plus, même les débits les plus faibles sont mesurés avec précision, permettant la détection des plus petites fuites, là où il ne devrait y en avoir aucune. Le débimètre FLUXUS G721 CA est spécialement conçu pour la mesure de débit non intrusive à des points spécifiques du réseau d’air comprimé, ainsi que pour la détection des fuites.
- Mesure non intrusive du débit d’air comprimé et de gaz technique à partir de 3 bar.
- Disponible en tant que débitmètre à double canal avec un boîtier en acier inoxydable homologué ATEX/IECEx et FM.
- Calcul intégré par défaut du débit volumétrique.
Le Flexim FLUXUS G601 CA Energy est un outil polyvalent permettant aux industriels d’améliorer leur efficacité énergétique et de se conformer aux normes DIN ISO 50001. Il permet la mesure des débits d’air comprimé, la mesure d’énergie thermique et la mesure du débit de tout type de fluide liquide ou gazeux. Conçu pour inspecter l’ensemble des infrastructures liées à l’air comprimé, équilibrer les installations, effectuer des mesures sur presque chaque conduite, déterminer l’efficacité des compresseurs, et enfin quantifier et localiser les fuites. Il mesure sur des conduites ayant un diamètre intérieur allant de DN6 jusqu’à DN2100 et à partir d’une pression de 3 bar absolu et plus.
- Mesure portative et non intrusive du débit et de l’énergie thermique des liquides, de l’air comprimé et des gaz techniques.
- Bidirectionnel et hautement dynamique pour l’air comprimé.
- Mesure de l’air comprimé et du gaz possible à partir de 3 bar.
Le débitmètre à ultrasons Flexim FLUXUS G532 CA est spécialement conçu pour la mesure de débit d’air comprimé et de gaz vecteurs. Un débitmètre d’air comprimé compact doté d’un calculateur intégré pour la mesure de débit volumique normalisé. Il est également capable de traiter les données de mesure en ligne provenant de capteurs de température et de pression. La méthode éprouvée de mesure par différence de temps de transit présente de nombreux avantages, notamment pour l’air comprimé et les gaz vecteurs. Elle permet la détection de vitesses d’écoulement aussi basses que 0,01 m/s. De plus, la mesure est toujours bidirectionnelle et n’est pas influencée par l’humidité, les huiles ou les particules de saleté. Le FLUXUS G532 CA est équipé d’interfaces USB et LAN, et prend en charge les interfaces de communication courantes tels que Modbus TCP, Modbus RTU, BACnet MS/TP, BACnet IP, et M-Bus.
- Mesure de débit technique d’air comprimé et de gaz non intrusive à partir de 3 bars absolus.
- Calcul intégré du débit volumique standard.
- Dynamiques de mesure extrêmes, des vitesses d’écoulement les plus basses aux plus élevées - détection facile des fuites et des pics de charge.
Le débitmètre non intrusif Flexim FLUXUS G731 CA permet la mesure de débit d'air comprimé même à des pressions très basses (à partir de 3 bar absolu pour les conduites en acier et à partir de la pression atmosphérique pour les conduites en plastique). De plus, même les débits les plus faibles sont mesurés avec précision, permettant la détection des plus petites fuites. Le débimètre FLUXUS G731 CA est spécialement conçu pour la mesure de débit non intrusive à des points spécifiques du réseau d’air comprimé, ainsi que pour la détection des fuites.
- Mesure de débit technique d’air comprimé et de gaz non intrusive à partir de 3 bars absolus.
- Disponible sous forme de débitmètre à deux voies, boîtier en acier inoxydable, certification ATEX/IECEx et FM.
- Calcul intégré du débit volumique standard.
