Mesure du débit d’un gaz comprimé pur

Dans la fabrication des semi-conducteurs, les gaz comprimés très purs tels que l’azote (HP N2), l’argon (HP Ar), l’hélium (HP He) et l’air sec et pur (CDA) jouent un rôle crucial dans divers processus. L’azote est couramment utilisé pour la purge et l’inertage afin d’éviter l’oxydation et la contamination. L’argon est essentiel pour la gravure au plasma et la pulvérisation cathodique en raison de ses propriétés inertes, qui garantissent un enlèvement et un dépôt précis des matériaux. L’hélium, avec sa conductibilité thermique supérieure, est essentiel pour les systèmes de refroidissement et la détection des fuites. L’air pur, exempt de contaminants, est utilisé dans les salles blanches pour maintenir des normes de qualité strictes.

La mesure du débit de ces gaz coûteux est essentielle pour garantir la maîtrise des coûts, le contrôle des procédés, l’efficacité et la sécurité. Le contrôle précis du débit permet une distribution exacte du gaz, ce qui minimise les déchets et garantit des performances optimales dans les procédés de fabrication.