Medición del caudal de gas comprimido puro

Medición no intrusiva del caudal de aire puro, nitrógeno, argón y helio
Medición del caudal de gas comprimido puro

Monitorización de gases puros costosos en la fabricación de semiconductores

En la fabricación de semiconductores, los gases comprimidos de alta pureza como el nitrógeno (HP N2), el argón (HP Ar), el helio (HP He) y el aire seco limpio (CDA) desempeñan un papel crucial en diversos procesos. El nitrógeno se utiliza habitualmente para la purga e inertización para evitar la oxidación y la contaminación. El argón es esencial en el grabado y pulverización de plasma debido a sus propiedades inertes, que garantizan la eliminación y la deposición precisas del material. El helio, con su conductividad térmica superior, es vital en sistemas de enfriamiento y detección de fugas. El aire puro, libre de contaminantes, se utiliza en ambientes de salas estériles para mantener las estrictas normas de calidad.

La medición del caudal de estos gases costosos es fundamental para garantizar un control uniforme de costos, control de procesos, eficiencia y seguridad. La supervisión precisa del caudal permite un suministro de gas preciso, lo que minimiza los desechos y garantiza un desempeño óptimo en los procesos de fabricación.

Ver más...
Haga clic para continuar leyendo Monitorización de gases puros costosos en la fabricación de semiconductores
Habilite JavaScript para usar este sitio web.