En la fabricación de semiconductores, los gases comprimidos de alta pureza como el nitrógeno (HP N2), el argón (HP Ar), el helio (HP He) y el aire seco limpio (CDA) desempeñan un papel crucial en diversos procesos. El nitrógeno se utiliza habitualmente para la purga e inertización para evitar la oxidación y la contaminación. El argón es esencial en el grabado y pulverización de plasma debido a sus propiedades inertes, que garantizan la eliminación y la deposición precisas del material. El helio, con su conductividad térmica superior, es vital en sistemas de enfriamiento y detección de fugas. El aire puro, libre de contaminantes, se utiliza en ambientes de salas estériles para mantener las estrictas normas de calidad.
La medición del caudal de estos gases costosos es fundamental para garantizar un control uniforme de costos, control de procesos, eficiencia y seguridad. La supervisión precisa del caudal permite un suministro de gas preciso, lo que minimiza los desechos y garantiza un desempeño óptimo en los procesos de fabricación.
El caudalímetro de aire comprimido FLUXUS G721 CA de Flexim es una tecnología ultrasónica no intrusiva de abrazadera, única en el sentido de que puede aplicarse para medir caudales de aire comprimido incluso a presiones muy bajas (hasta 3 bar en líneas de acero y presión atmosférica en líneas de plástico). Además, incluso los caudales más bajos se captan con precisión y revelan los caudales más leves de las fugas más pequeñas donde no debería haber ninguna. El FLUXUS G721 CA está especialmente indicado para medir de forma no intrusiva las cantidades extraídas en puntos concretos de la red de aire comprimido, así como para detectar fugas en su interior.
El FLUXUS G601 CA Energy de Flexim es la herramienta ideal para llevar a cabo tareas completas de eficiencia energética en la industria, así como dentro de la gestión de la planta (según las normas DIN ISO 50001) al permitir la medición de caudales de aire comprimido, así como el control de las cantidades de energía térmica y la determinación del caudal de cualquier tipo de fluido líquido o gaseoso con un solo dispositivo portátil. Diseñado para inspeccionar infraestructuras completas de aire comprimido, equilibrar las instalaciones, realizar mediciones en casi todos los tramos individuales, determinar la eficiencia de los compresores y, por último, pero no por ello menos importante, cuantificar y localizar fugas. Mide con un diámetro interior de DN6 hasta DN2100 presurizado a partir de 3 bar.
El caudalímetro ultrasónico de aire comprimido FLUXUS G532 de Flexim está especialmente diseñado para la medición cuantitativa de aire comprimido y gases técnicos. Un medidor de aire comprimido compacto con cálculo de caudal volumétrico estándar integrado que también puede procesar datos de medición en línea procedentes de sensores de temperatura y presión. El acreditado método de diferencia de tiempo de tránsito ofrece grandes ventajas, especialmente para aire comprimido y gases técnicos, tales como: se detectan velocidades de caudal tan bajas como 0.03 ft/s, la medición es siempre bidireccional y no se ve influida por la humedad, el aceite o las partículas de suciedad. FLUXUS G532 CA dispone de una interfaz USB y LAN y opera con las interfaces de comunicación habituales Modbus TCP, Modbus RTU, BACnet MS/TP, BACnet IP y M-Bus.