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64-2800 系列高纯度束缚膜片减压阀采用不锈钢制造,提供 0.25 微米/10 Ra 微英寸的表面光洁度,并经过电子级清洁。入口压力为 69.0 或 241bar/1000 或 3500psig,出口压力可高达 10.3bar/150psig。非常适合用于 1/4" 使用点、气柜、特种气体调节、晶体生长以及扩散炉应用。