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Tescom-P-12 Springless

TESCOM™ 12 系列无弹簧无螺纹调压器

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产品描述

12 系列是一种微型超高纯度工业气体 (IGS)/VCR® 减压型调压器。12 系列提供 5Ra 或 10Ra 微英寸的光洁度，采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。进口压力为 150psig/10.3bar，出口压力为 250mm Hg-15、30、60、100psig/250mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9bar，流速可达 120SLPM。非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。

规格

额定压力
最大入口压力：
150psig/10.3bar

最大出口压力：
250mm Hg-15psig/250mm Hg-1.0bar
0-30、0-60、0-100psig/0-2.1、0-4.1、0-6.9bar
材质
阀体：316L VAR 不锈钢
阀膜：Hastelloy®
阀座：PCTFE
阀杆：Hastelloy®
其他部件材质：316L VAR 不锈钢
工作温度
-40°C 至 60°C/-40°F 至 140°F
连接
焊接接头：1/4 VCR® 或管接头
表面安装：1.125 或 1.50 占用空间
流通能力
标准：Cv = 0.04
高流量：Cv = 0.08
重量
VCR®、IGS：0.60lb/0.3kg
A 型：1.08lb/0.5kg
其他信息
如需获得定制型号或完整的系统解决方案，请联系您当地的销售办事处。

特点

  • 适用于高级 OEM 气体系统的理想产品
  • 高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 (MFC) 性能
  • 在广泛应用中提供优越性能
  • 流量：2SCFM 至 120SLPM
  • 在微型元件中提供出色的压降和重复性
  • 膜片与阀体之间采用金属对金属设计，实现一流的密封性
  • 内部表面光洁度为 10Ra 或 5Ra 微英寸
  • 符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格

文档与图纸